为什么台湾能造出光刻机

光刻机简直就是国内所谓的“科技媒体”用来带节奏的神器呀!

为什么台湾能造出光刻机

ASML、Nikon这些都是商业公司,它们做出来产品就是为了出售换取利润,没有人会跟钱过不去呀。不仅台湾可以买,大陆也可以,ASML在2018年有20%的营收贡献就来自中国大陆。

光刻机是晶圆代工厂的必需,但不意味着有了机器就可以做出相应的工艺制程,光刻只是整个制造流程中的一个环节。给普通人一把顶级菜刀他就能做出米其林三星水平吗?

EUV光刻机受限这个是事实,但即使依内地龙头中芯国际目前的技术水平和经营状况,也根本用不到这种高大上的东西。本来也只订购了一台,估计是拿来观摩的吧……

EUV光刻工艺目前实现量产的也只有台积电的第二代7nm FF+和三星的7nm LPP,之前的工艺193nm ArF沉浸式DUV光刻机就足够了,无锡海力士已经装机了ASMLzui新的NXT:2000i DUV光刻机,新建的华虹6厂去年也装机了ASML当时的DUV光刻机旗舰NXT:1980Di

中芯国际自己技术太菜了,同样的设备台积电可以做到7nm,它的28nm工艺至今都不太成熟,营收贡献低的可怜(5%左右);14nm FinFET 2019Q4才开始风险量产,正式量产不知道还要多久……所以不要什么都甩锅光刻机,正视技术水平差的事实吧。

EUV光刻技术本来就是当年美国牵头研发的,ASML的EUV光刻机中核心部件之一EUV光源来自于并购的美国公司Cymer。

第一、但凡是个芯片制造公司,你不管他是4英寸还是6英寸还是8,12英寸fab,光刻机是肯定有的,当然光刻机肯定是买的,所以买不到光刻机这种论调是错误的

第二、国内各大fab,包括SMIC,长存,长鑫,华虹,弘芯、积塔等,都能买到193nm的光刻机,只是现在zui新锐的EUV只有SMIC买了一台。

第三、台积电1988年就成立,并且开创了晶圆代工模式,到现在已经发展了30年了,成为当之无愧的行业老大,国内908,909,包括中芯国际,起步就远远晚于台积电,中间还遭遇了各种挫折,困难,打压。差距不拉大才怪了。中芯国际R&D部门才500号人,TSMC有6000号人,500人打6000人,你告诉我拿什么打?

但是你要知道,论产能,国内已经是全世界的15%左右了,预计3年后现在疯狂建设的FAB都投产的话,产能能占到全世界的20%,可以了。。。。。。这个差距其实没有想象中的这么大,毕竟排在中芯前面的是台积电,三星VSL,GF和UMC,2个中国台湾企业,一个半死不活的美国公司,和一个三星这个韩国硬养出的凤凰男。。。。。。。

大陆也可以买到光刻机,中芯目前除了euv光刻机,该有的设备全都有。台积电曾经用193光刻机做到N7,直到N5和N7 plus才用到了euv。

很多业外人士连14nm制程的定义代表什么都不知道,以为光刻机买来插上电就可以做出14nm,就在嚷嚷着大陆比不过台积电就是没有光刻机,反正光刻机是甩锅神器。

其实我个人认为光刻机只不过是打桩神器,定义了transistor的周期性。好比盖楼房,先打个桩再盖。先在X方向长PR,曝光,再长SiN做Mandrel Spacer,其实是用double patterning的方法做出SiN的Pitch,也就是用光刻机就定义了Fin Pitch,大概几十纳米。其次以SiN做HM,Etch出Fin的形状。再长STI OX到Fin底部,接着长Poly。然后去Y方向用光刻机定义Poly Pitch,也就是要让Poly架在Fin上面,也是几十纳米。用光刻机定义完Poly Pitch后,在Poly两侧长电介质材料,再把Poly掏空,剩下的Poly两侧电介质材料就是Gate的两个极板。在极板里边长金属,剩下的间隙就是栅间距14nm。中间无数步长各种材料,dep etch anneal cmp略。

当制程小到一定程度时,理论上靠Multi patterning还可以继续定义更小的Pitch,只是很麻烦,很不好控制,所以才需要euv光刻机。

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